< Terug naar vorige pagina

Publicatie

Plasma enhanced atomic layer deposition of aluminium sulphide

Boekbijdrage - Boekabstract Conferentiebijdrage

Boek: EuroCVD-21 - Baltic ALD-15, Joint meeting, Abstracts

Aantal pagina's: 1

Jaar van publicatie:2017

Handle: http://hdl.handle.net/1854/LU-8536309