Polymeer/ALD multilaags-structuur als super-hermetische barrière voor langdurig implanteerbare micro-elektronica

Implanteerbare micro-elektronica maken belangrijke applicaties zoals biosensoren, neurale probes, medicijnlevering,… mogelijk. Eén van de grootste uitdagingen in de ontwikkeling van dergelijke systemen is de inkapseling van geminiaturiseerde elektronica in een volledig hermetische verpakking. Dit project voorziet daarom de ontwikkeling van een dunne, flexibele, biocompatibele, volledig hermetische verpakking door ultradunne ALD lagen te combineren met geoptimaliseerde plasma en chemische behandelingen.