< Terug naar vorige pagina

Project

Alternatieve metalen en nanodraden voor geavanceerde interconnectietoepassingen

In het proefschrift worden de elektrische, structurele en mechanische eigenschappen van dunne lagen en nanodraden van alternatieve metalen bestudeerd. Een bijzondere focus zal liggen op het begrijpen van de verstrooiingsmechanismen (oppervlakte-, korrelgrenzen) die domineren bij kleine afmetingen. Zowel Pt-groepmetalen als nieuwe ternaire carbides zullen worden bestudeerd. Ik zal geschikte depositieprocessen voor alternatieve metalen ontwikkelen, nanodraden fabriceren en dunne lagen en nanodraden karakteriseren. Het gewenste resultaat is fundamenteel begrip van de materiaaleigenschappen bij gereduceerde dimensies (1D / 2D) en kleine afmetingen, waardoor vergelijking en selectie van materialen voor geschaalde verbindingssystemen in toekomstige micro-elektronische schakelingen mogelijk wordt. Concluderend combineert het proefschrift de depositie van dunne lagen en de nanofabricage van nanodraden met elektrische, structurele en mechanische materiaalkarakterisatie. De ontwikkeling en beoordeling van geavanceerde karakterisatiemethoden en de op fysica gebaseerde modellering van de resistiviteit zullen een belangrijke rol spelen.

Datum:28 aug 2018 →  31 okt 2023
Trefwoorden:thin films, nanowires, platinum group metals
Disciplines:Metallurgie
Project type:PhD project