< Terug naar vorige pagina

Publicatie

Thermal stability of Zr-O-N(:Ti) thin films prepared by magnetron sputtering

Tijdschriftbijdrage - Tijdschriftartikel

Tijdschrift: VACUUM
ISSN: 0042-207X
Volume: 151
Pagina's: 148 - 155
Jaar van publicatie:2018
BOF-keylabel:ja
IOF-keylabel:ja
BOF-publication weight:0.1
CSS-citation score:1
Auteurs:International
Authors from:Higher Education
Toegankelijkheid:Closed