< Terug naar vorige pagina
Publicatie
Influence of Composition of SiCN as Interfacial Layer on Plasma Activated Direct Bonding
Tijdschriftbijdrage - Tijdschriftartikel
Tijdschrift: Ecs Journal Of Solid State Science And Technology
ISSN: 2162-8769
Issue: 6
Volume: 8
Pagina's: P346 - P350