< Terug naar vorige pagina

Publicatie

Study of the surface species during thermal and plasma-enhanced atomic layer deposition of titanium oxide films using in situ IR-spectroscopy and in vacuo X-ray photoelectron spectroscopy

Tijdschriftbijdrage - Tijdschriftartikel

Tijdschrift: PHYSICAL CHEMISTRY CHEMICAL PHYSICS
ISSN: 1463-9084
Issue: 17
Volume: 22
Pagina's: 9262 - 9271
Jaar van publicatie:2020
Toegankelijkheid:Closed