< Terug naar vorige pagina

Publicatie

Study of the surface species during thermal and plasma-enhanced atomic layer deposition of titanium oxide films using in situ IR-spectroscopy and in vacuo X-ray photoelectron spectroscopy

Boekbijdrage - Boekabstract Conferentiebijdrage

Boek: AVS 20th International Conference on Atomic Layer Deposition (ALD 2020), Abstracts
Aantal pagina's: 1
Jaar van publicatie:2020
Toegankelijkheid:Open