< Terug naar vorige pagina

Publicatie

Surface mobility and impact of precursor dosing during atomic layer deposition of platinum : in situ monitoring of nucleation and island growth

Tijdschriftbijdrage - Tijdschriftartikel

Tijdschrift: PHYSICAL CHEMISTRY CHEMICAL PHYSICS
ISSN: 1463-9084
Issue: 43
Volume: 22
Pagina's: 24917 - 24933
Jaar van publicatie:2020
Toegankelijkheid:Open