Elektrochemisch micro/nano-bewerken voor het structureren van gekromde oppervlakken van moeilijk bewerkbare materialen gebruik makend van een AFM platform

Micro/nanostructurering van het oppervlak van gekromde werkstukken met kenmerken die kleiner zijn dan 50 µm is een nieuwe uitdaging in het domein van microfabricage en wordt zelfs nog uitdagender voor moeilijk te bewerken materialen. Deze stellen doorgaans hoge eisen aan de integriteit van het oppervlak, het behoud van een specifieke microstructuur en functionele eigenschappen. Elektrochemisch microbewerken is een veelbelovend proces dat hoogwaardige oppervlakken kan produceren zonder proces-gerelateerde gereedschapsslijtage en onafhankelijk van de hardheid van het werkstuk.
Dit project beoogt het verkleinen van een gereedschapsgebaseerd elektrochemisch microbewerkingsproces. Het richt zich op een innovatieve micro/nanostructureringstechnologie voor het produceren van functionele oppervlakken op gekromde werkstukken van moeilijk te bewerken materialen. Dit bewerkingsproces zal worden gerealiseerd op een nanopositioneringsplatform en met behulp van een AFM-tip met een nanofluïdisch kanaal om het elektrolyt in de bewerkingszone aan te leveren. Een alternatief gereedschap met gebruik van een geïntegreerde koolstofnanobuis als AFM-tip wordt ook voorgesteld om het micro/nanostructureringproces onafhankelijk te maken van de AFM-tipgeometrie. Het project zal fundamentele studies uitvoeren aangaande het mechanisme van materiaalverwijdering voor dit nieuwe elektrochemisch microbewerkingsproces.