< Terug naar vorige pagina

Publicatie

Nanomechanical characterization of organic surface passivation films on 50 nm patterns during area-selective deposition

Tijdschriftbijdrage - Tijdschriftartikel

Tijdschrift: ACS Applied Electronic Materials
ISSN: 2637-6113
Issue: 6
Volume: 3
Pagina's: 2622 - 2630
Jaar van publicatie:2021
BOF-keylabel:ja
IOF-keylabel:ja
BOF-publication weight:2
CSS-citation score:1
Authors from:Government, Higher Education
Toegankelijkheid:Closed