< Terug naar vorige pagina
Octrooi
Thin metal-organic framework film
A method of producing a metal-organic framework (MOF) film on a substrate is provided. The method includes providing a substrate having a main surface and forming on the main surface a MOF film using an organometallic compound precursor and at least one organic ligand, wherein each of the organometallic compound precursor and the at least one organic ligand is provided only in the vapour phase.
Octrooi-publicatienummer: US10767263
Jaar aanvraag: 2020
Jaar toekenning: 2020
Jaar van publicatie: 2020
Status: Toegewezen
URI: link to Espacenet
Technologiedomeinen: Semiconductoren, Oppervlaktetechniek, coating
Gevalideerd voor IOF-sleutel: Ja
Toegewezen aan: Associatie KULeuven