< Terug naar vorige pagina
Octrooi
A method and apparatus for transmission for transmission electron
The invention is related to a method and apparatus for transmission electron microscopy wherein a TEM specimen (1,12) is subjected to at least one thinning step by scratching at least an area of the specimen with an SPM probe (4), and wherein the thinned area is subjected to an SPM acquisition step, using the same SPM probe or another probe.
Octrooi-publicatienummer: EP3364445
Jaar aanvraag: 2020
Jaar toekenning: 2020
Jaar van publicatie: 2020
Status: Toegewezen
URI: link to Espacenet
Technologiedomeinen: Elektrische machines, apparaten, energie
Gevalideerd voor IOF-sleutel: Ja
Toegewezen aan: Associatie KULeuven