< Terug naar vorige paginaPublicatie The use of atomic layer deposition in hybrid hermetic barriers for medical devices : ALD nucleation and plasma activation influence Boek - DissertatieISBN:9789463555814Handle: http://hdl.handle.net/1854/LU-8751115 Toegankelijkheid:OpenAuteurs/uitgeverLaura Astoreca Alvarez (Auteur)Ghent University. Faculty of Engineering and Architecture (Uitgever)OnderzoekseenhedenVakgroep Elektronica en Informatiesystemen(Departement)Ghent UniversityVakgroep Toegepaste Fysica(Departement)Ghent University