< Terug naar vorige paginaPublicatie Off-axis Raman spectroscopy for nanoscale stress metrology Tijdschriftbijdrage - TijdschriftartikelTijdschrift: JOURNAL OF APPLIED PHYSICSISSN: 0021-8979Issue: 3Volume: 132WoS Id: 000829242700002DOI: https://doi.org/10.1063/5.0100602Institutional Repository URL: https://lirias.kuleuven.be/3819112 Toegankelijkheid:OpenAuteurs/uitgeverZoheb Khan (First author)Thomas Nuytten (Auteur)Paola Favia (Auteur)Claudia Fleischmann (Auteur)Ingrid De Wolf (Auteur)Wilfried Vandervorst (Last author)OnderzoekseenhedenKwantum-vastestoffysica(Afdeling)KU LeuvenStructurele Materialen (SCALINT)(Afdeling)KU Leuven