< Terug naar vorige pagina

Project

Een in-situ studie van Moleculaire Laag Depositie van metalcone films

Het groeimechanisme, de conformaliteit en de transformatie in nanoporeuze films van metalcone films wordt onderzocht met behulp van verscheidene in-­U+2010situ karakterisatietechnieken. Onderwerpen die hierbij aan bod komen zijn o.a. de binding van de organische precursor met het oppervlak, conformaliteit op high aspect ratio structuren en porositeit van de getransformeerde metalcone lagen.

Datum:1 okt 2012 →  30 sep 2016
Trefwoorden:dunne films, Atomaire Laag Depositie (ALD), metalcones, nanoporeuze films, moleculaire laag depositie (MLD), hybride organische-­U+2010anorganische films
Disciplines:Fysica van gecondenseerde materie en nanofysica