Nanokristallijn diamant voor toepassingen in micro-systemen.

Het doel van het voorgestelde project is om een nieuwe onderzoekslijn te starten in de ontwikkeling van nanokristallijne diamantlagen voor microsystemen. Dit project richt zich op de belangrijke aspecten groei, structuur en functie van nanodiamantlagen die momenteel hun doorbraak voor microsystemen belemmeren. De voornaamste doelstelling is de gecontroleerde synthese van 3-D microgestructureerde nanodiamantlagen met een zeer lage oppervlakteruwheid, hoge conformaliteit en goed gecontroleerde materiaaleigenschappen. Dit zal worden bereikt door het verwerven van een beter inzicht in en controle van de vorming van dunne lagen van naokristallijn diamant op microgestructureerde substraten. Een tweeledige aanpak zal ontwikkeld worden op basis van experimentele procedures en computersimulaties gericht op de nucleatie en groeidynamica van dunne lagen van nanokristallijn diamant. Microschaal-oppervlaktetechnologie zal vervolgens worden toegepast voor de microstructurering van de nanokristallijne diamantlagen. Het onderzoek zal worden uitgevoerd in vier deelprojecten rond twee specifieke toepassinge, namelijk microfluide systemen en micromachines.

Trefwoorden:Materials engineering, Tribology, Atomic Layer Deposition (ALD), Nano-diamond thin films, Microsystems (MEMS), Chemical Vapor Deposition (CVD), Nucleation and growth

Disciplines:Analytische chemie, Macromoleculaire en materiaalchemie, Keramische en glasmaterialen, Materialenwetenschappen en -techniek, Halfgeleidermaterialen, Andere materiaaltechnologie