< Terug naar vorige pagina
Publicatie
The co-reactant role during plasma enhanced atomic layer deposition of palladium
Tijdschriftbijdrage - Tijdschriftartikel
Tijdschrift: PHYSICAL CHEMISTRY CHEMICAL PHYSICS
ISSN: 1463-9084
Issue: 16
Volume: 22
Pagina's: 9124 - 9136
Jaar van publicatie:2020
Toegankelijkheid:Closed