< Terug naar vorige pagina

Publicatie

Feasibility of unzipping polymer polyphthalaldehyde for extreme ultraviolet lithography

Tijdschriftbijdrage - Tijdschriftartikel

Tijdschrift: Journal of Micro-Nanolithography, MEMS, and MOEMS
ISSN: 1932-5150
Issue: 3
Volume: 20
Jaar van publicatie:2021
BOF-keylabel:ja
IOF-keylabel:ja
BOF-publication weight:1
CSS-citation score:1
Auteurs:International
Authors from:Government, Higher Education
Toegankelijkheid:Closed