< Terug naar vorige pagina

Publicatie

Power spectral density as template for modeling a metal-oxide nanocluster resist to obtain accurate resist roughness profiles

Tijdschriftbijdrage - Tijdschriftartikel

Tijdschrift: Journal of Micro-Nanolithography, MEMS, and MOEMS
ISSN: 1932-5150
Issue: 2
Volume: 20
Jaar van publicatie:2021
BOF-keylabel:ja
IOF-keylabel:ja
BOF-publication weight:1
CSS-citation score:1
Auteurs:International
Authors from:Government, Higher Education
Toegankelijkheid:Closed