< Terug naar vorige pagina
Publicatie
Reaction mechanism of the Me3AuPMe3-H-2 plasma-enhanced ALD process
Tijdschriftbijdrage - Tijdschriftartikel
Tijdschrift: PHYSICAL CHEMISTRY CHEMICAL PHYSICS
ISSN: 1463-9084
Issue: 21
Volume: 22
Pagina's: 11903 - 11914
Jaar van publicatie:2020
Toegankelijkheid:Open