< Terug naar vorige pagina
Publicatie
Scale-up of a Chemo-Epitaxy Flow for Feature Multiplication Using Directed Self- Assembly of Block-Copolymers
Tijdschriftbijdrage - Tijdschriftartikel
Tijdschrift: Journal of Photopolymer Science and Technology
ISSN: 0914-9244
Issue: 6
Volume: 26
Pagina's: 831 - 839
Jaar van publicatie:2013
BOF-keylabel:ja
IOF-keylabel:ja
BOF-publication weight:0.1
CSS-citation score:1
Auteurs:International
Authors from:Government, Higher Education