Nano-indentatie methodologieën voor het karakteriseren van dunne (poreuze) materialen met een lage diëlektrische constante en koper bondvlakken KU Leuven
De voortdurende schaalverkleining van geïntegreerde schakelingen en de miniaturisatie van micro-elektronische apparatuur met een toenemende dichtheid aan componenten om de prestaties te verbeteren, hebben geleid tot de introductie van zeer poreuze materialen met een lage diëlektrische constante , nodig om de nano-dimensionele koperen elektrische connecties te isoleren. Een factor die een steeds grotere rol speelt in de ontwikkeling van deze ...