Modellering van de plasmachemie in een capacitief gekoppeld plasma gebruikt voor micro-elektronica toepassingen Universiteit Antwerpen
Plasma's worden veel gebruikt in de micro-elektronica voor het maken van computerchips, nl. in plasma etsen en depositie van verschillende materialen. Er is een toenemende interesse in het gebruik van zeer complexe gasmengsels, bv. gebaseerd op CHxFy, soms zelfs in combinatie met HBr, Cl2 en O2. In dit project wensen we een beter begrip te krijgen van de plasmachemie in verschillende CHxFy plasma's, nl. CHF3, CH2F2 , CH3F en CF4, door middel ...