Materiaal ontwikkeling met lage dielektrische constante voor 10nm CMOS interconnect technologie KU Leuven
Een eenvoudig en toch onmisbaar onderdeel van elke micro-elektronicachip is een meerlaags bedradingssysteem dat bovenop de laag van de actieve halfgeleider componenten (i.e. transistors, ..) is gebouwd. Dit systeem is verantwoordelijk voor de signaaloverdracht tussen functionele knooppunten van een geïntegreerde schakeling. Terwijl in de begindagen van de micro-elektronica, de IC-prestaties grotendeels werden bepaald door de actieve ...