In-situ onderzoek van vernieuwende benaderingen voor conformele depositie van complexe oxiden door combinatie van ALD met vastestof- en elektrochemische reacties Universiteit Gent
Wij onderzoeken de synthese van conformele dunne
lagen van complexe oxides door atoomlaagdepositie te combineren met
vastestof- en elektrochemische reacties. Bijkomend bestuderen we de
structurele of faseveranderingen tijdens deze reacties met in-situmethoden
zoals X-stralendiffractie en ellipsometrie.