TOPTRANS: a micro-transfer printing instrument with sub-micron alignment accuracy on a large scale for the electronic/photonic microsystems of the future (TOPTRANS) Universiteit Gent
TOPTRANS: een micro-transfer printing instrument met sub-micron alignatienauwkeurigheid op grote schaal voor de elektronisch/fotonische micro-systemen van de toekomst
Het instrument laat toe om met heel hoge alignatienauwkeurigheid (+/- 0.5micron 3 sigma) zogenaamde ‘chiplets’ te integreren op een substraat. Dit kadert in de trend van heterogene integratie waar het samenbrengen van componenten geimplementeerd in verschillende materiaalsystemen toelaat om de performantie van het resulterende systeem te vergroten. In de eerste plaats kijken we hier naar fotonische systemen op ...