Improvement of carbon depth profiling within shallow structures by secondary ion mass spectrometry (SIMS)
Scientific Large Scale Infrastructure for Computing/Communication Experimental Studies - Research Infrastructure (SLICES - RI)
Groene Nanotechnologie voor efficientere productie van groene waterstof (Groene waterstofelectrolyse)
VR - ASML high NA lab (Miniaturisatie in geavanceerde halfgeleidertechnologieën: opzet van een Hoge Numerieke Apertuur (NA) Extreme Ultra Violet (EUV)-golflengte Lab) (High-NA)
