Elektronenbundelopdamper - NaMiFab Core Facility

Een elektronenbundelopdamper is een basistoestel in cleanrooms voor fabricage van elektronische en fotonische chips. Dit toestel laat toe om dunne lagen van verschillende types materialen te deponeren via het proces Physical Vapour Deposition (PVD). Dit is een zeer zuivere methode die werkt in hoog-vacuüm, in tegenstelling tot chemische methoden zoals CVD of ALD en heeft het voordeel dat onderliggende lagen niet gecontamineerd worden. Door de elektronenbundel kunnen materialen opgedampt worden met een zeer hoge opdamptemperatuur, in het bijzonder bepaalde metalen (platinum, titanium, ...) en oxides (tantaaloxide, titaniumoxide, ...), noodzakelijk voor verschillende toepassingen in de elektronica en fotonica. Een typische cleanroom in universiteiten of onderzoeksinstellingen heeft meerdere elektronenbundelopdampers. Deze aanvraag kadert in de vervanging van een bestaand toestel dat ondertussen meer dan 40 jaar oud is en zal geplaatst worden in de NaMiFab Core Facility.