< Terug naar vorige pagina
Publicatie
Thin, low roughness Ru films deposited by thermal and plasma enhanced atomic layer deposition using RuO4 and H2 at low temperatures
Boekbijdrage - Boekabstract Conferentiebijdrage
Boek: Materials for Advanced Metallization, IEEE conference, Abstracts
Aantal pagina's: 1
Jaar van publicatie:2016