< Terug naar vorige pagina
Publicatie
Single-wafer wet chemical oxide formation for pre-ALD high-k deposition on 300 mm wafer
Tijdschriftbijdrage - Tijdschriftartikel Conferentiebijdrage
Tijdschrift: Diffusion and Defect Data B, Solid State Phenomena
ISSN: 1012-0394
Volume: 134
Pagina's: 53 - +
Jaar van publicatie:2008
BOF-keylabel:ja
IOF-keylabel:ja
Authors from:Higher Education