Geavanceerde infrastructuur voor de fabricage van de volgende generatie micro- and nanosystemen

Het onderzoeksveld van micro-en nanosystemen is zeer breed: het bevat onder andere onderzoek naar laboratoriaop-chips, gyroscopen en versnellingsmeters-op-chip, gassensoren, miniatuurreactoren, medische implantaten,
biosensoren en opto-elektronische componenten. Ook fundamenteel onderzoek naar fysica op kleine schaal en materiaalonderzoek maakt gebruik van deze systemen. Om dit onderzoek te kunnen voeren is er apparatuur nodig
om materialen met zeer grote resolutie (minder dan één micrometer) te kunnen bewerken, en om verschillende substraten met elkaar te kunnen verbinden. Een 12-tal onderzoeksgroepen aan de KU Leuven maakt gebruik van
dergelijke lithografische apparatuur, die ter beschikking staat in de cleanroom van het Nanocentre. Helaas is de huidige apparatuur technologisch verouderd, en kan de werking ook niet veel langer gegarandeerd worden.
Met dit project willen we investeren de nieuwste generatie lithografische apparatuur voor onderzoeksdoeleinden. Dezebestaat uit een toestel om fotolakken aan te brengen (spin coater), een laserschrijver (maskless aligner) die hierin een
patroon kan schrijven met submicrometer resolutie, en een toestel om substraten te verbinden (wafer bonder) om complexe 3D systemen te kunnen realiseren. De investering zal de resolutie van de beschikbare optische lithografie met
een factor 2 à 3 verbeteren en de doorvoersnelheid met een factor 30. Het zal daardoor talloze nieuwe projecten en externe partners aantrekken.