< Terug naar vorige pagina
Publicatie
Surface species during ALD of platinum observed with in situ reflection IR spectroscopy
Tijdschriftbijdrage - Tijdschriftartikel
Tijdschrift: PHYSICAL CHEMISTRY CHEMICAL PHYSICS
ISSN: 1463-9084
Issue: 39
Volume: 20
Pagina's: 25343 - 25356
Jaar van publicatie:2018
BOF-keylabel:ja
IOF-keylabel:ja
BOF-publication weight:2
CSS-citation score:1
Auteurs:National
Authors from:Higher Education
Toegankelijkheid:Closed