Capacitieve MEMS met groot oppervlak voor flexibele elektronica KU Leuven
Het doel van dit doctoraat is het ontwerpen, produceren en karakteriseren van capacitieve MEMS in het Large Area Electronics platform, die zowel als sensor en actuator gebruikt kunnen worden. De belangrijkste uitdagingen zijn het ontwikkelen van efficiënte capacitieve instrumenten via dunnelaagtechnologieën die een hoogtechnologisch signaal-ruisverhouding bereiken op het individuele element.