< Terug naar vorige pagina
Publicatie
Improvement of carbon depth profiling within shallow structures by secondary ion mass spectrometry (SIMS)
Tijdschriftbijdrage - Tijdschriftartikel
Gepubliceerd in: VACUUM
ISSN: 0042-207X
Issue: Part A, January
Volume: 244
Pagina's: 114893
Jaar van publicatie:2026
Trefwoorden:CLUSTER, Materiaalkunde, Toegepaste natuurkunde
Toegankelijkheid:Closed