< Terug naar vorige pagina

Publicatie

Plasma enhanced atomic layer deposition of zinc sulfide thin films

Tijdschriftbijdrage - Tijdschriftartikel

Tijdschrift: Journal of Vacuum Science and Technology. A, Vacuum, Surfaces, and Films
ISSN: 0734-2101
Issue: 1
Volume: 35
Aantal pagina's: 1
Jaar van publicatie:2017
Trefwoorden:Materiaalkunde, Toegepaste natuurkunde